氢流量检测与控制组件
发布时间：2015-06-11
对接截止时间：2015-10-31
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功能用途
检测氢原子频标提纯器输出氢气流量
产品规格及主要技术指标
1.工作温度：-10～+80℃；
2.工作寿命：20年；
3.温度系数：1E-13Pa•m3/S/℃
4.检测精度度：1E-13Pa•m3/s；
5.检测范围：10 Pa～1E-3Pa；
6.体积小于8000mm3
7.机械接口：直径25mm刀口法兰（详见图纸）；
8.电接口：标准接插件；
9.组件整体漏率优于1E-13Pa•m3/s；
10.可靠性：满足GJB150相关要求；
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