新型光学元件检测仪
基本信息
| 研制单位 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 先进程度 | |
| 联系人 | 孙明皓 | 联系方式 | 021-69918305 |
| 支持渠道 | 自筹 | 专业领域 | |
| 成果关键词 | 光学元件检测；面型等多参量测量 | ||
成果内容
功能用途：基于相位恢复算法，实现光学元件的面型和透过率等相关参数检测。
主要指标：100mm口径元件PV测量精度可高于λ/15，测量口径易于拓展，输出结果像素数128×128~4096×4096或更高。
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