金刚石材料制备及薄膜金属化封接技术-31512010502-3-信息系统2017预研
发布时间：2017-08-29
对接截止时间：2017-09-21
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功能用途
备注：2017年度信息系统预研指南无需通过网上对接，请按照互联网站“采购公告->其他公告”栏目2017年8月29日发布的“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研指南发布公告”和“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研立项评审工作规范（试行)”相关要求参与。
主要指标
研究方向：针对太赫兹电真空器件对微波输能窗材料的需求，开展金刚石薄膜制备、金刚石窗片加工及金属化封接技术研究，突破微型高强度金刚石薄膜生长、金刚石窗片封接等关键技术，研制出太赫兹电真空器件用金刚石窗片及微波窗样品。
牵引性指标：(1)窗片直径≤3.5mm；(2)厚度≤0.10mm；(3)断裂强度≥1000MPa；(4)封接件氦漏率≤1×10-11Pa•m3/s；(5)封接强度≥80MPa；(6)热导率≥2000W/m·K；(7)技术成熟度：6级。
进度要求：2017～2019年。
成果形式：样品、研究报告等。
最大支持单位数：1，每家单位经费限额：550万元。
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