硅微谐振高精度压力传感器技术-31513060109-2-信息系统2017预研
发布时间：2017-08-29
对接截止时间：2017-09-21
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功能用途
备注：2017年度信息系统预研指南无需通过网上对接，请按照互联网站“采购公告->其他公告”栏目2017年8月29日发布的“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研指南发布公告”和“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研立项评审工作规范（试行)”相关要求参与。
主要指标
研究方向：针对新一代战机对高精度压力传感器需求，开展静电激励/压阻检测硅微谐振高精度压力传感器技术研究，完成硅谐振式压力传感器的结构设计、仿真建模、加工等研究内容，突破微结构激振、小信号检测和真空封装等关键技术，研制出高精度压力传感器样品。
牵引性指标：（1）测量范围：0-120kPa（绝压）；（2）精度：0.02%FS；（3）初始频率：大于2000Hz；（4）Q值：优于10000；（5）长期稳定性：0.02%FS/年；（6）工作温度：-40℃-80℃；（7）最大过压：1.5×FS；（8）技术成熟度：4级。
研制周期：2017～2019年。
成果形式：样品、研究报告、专利、论文等。
最大支持单位数：2，每家单位经费限额：250万元。
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