MEMS器件自校准技术-31513060210-信息系统2017预研
发布时间：2017-08-29
对接截止时间：2017-09-21
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功能用途
备注：2017年度信息系统预研指南无需通过网上对接，请按照互联网站“采购公告->其他公告”栏目2017年8月29日发布的“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研指南发布公告”和“军委装备发展部信息系统局关于2017年全军共用信息系统装备预研立项评审工作规范（试行)”相关要求参与。
主要指标
研究方向：针对常见的MEMS加速度计，研究具有自主知识产权的自校准方法，研究电学激励生成技术，MEMS器件响应建模与故障分析技术，智能化响应分析技术，MEMS器件片上集成自校准技术，研制具有自校准功能的MEMS加速度计样机。
牵引性指标：（1）具有自校准功能的MEMS加速度计；（2）校准量程≥±50g；（3）零偏稳定性（1σ）≤5×10-4g；（4）标度因数温度系数≤200ppm/℃；（5）工作温度-40℃～+85℃；（6）技术成熟度达到5级。
进度要求：2017～2019年。
成果形式：样机实物，论文、专利，全套技术文件（包括设计文件、工艺文件、测试报告、研究报告）等。
最大支持单位数：1，每家单位经费限额：400万元。
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